超聲波的空化值和超聲波的頻率有密切關(guān)系，頻率越高，空化值越高。超聲波清洗機(jī)頻率低，空化越容易產(chǎn)生，在低頻情況下，液體受到的壓縮和稀疏作用有更長的時間間隔，使氣泡在破裂前達(dá)到較大的尺寸，空化強(qiáng)度增加，有利于清洗作用。所以低頻超聲清洗適用于大部件表面污物和污物與清洗件表面結(jié)合度高的場合。但低頻對于清洗件表面轟擊很強(qiáng)，不適宜清洗表面光潔度高的部件，而且空化噪音較大。

高頻40KHz以上的超聲波頻率，在相同聲強(qiáng)下，產(chǎn)生的空化泡數(shù)量比20KHz的多，空化強(qiáng)度低但穿透力強(qiáng)，比較適合清洗表面形狀復(fù)雜或有盲孔的工件，以及清洗污物與被清洗件表面結(jié)合力較弱的場合，空化噪音較小。高頻超聲清洗適用于計算機(jī)，微電子元件的精細(xì)清洗，兆赫超聲清洗適用于集成電路芯片、硅片及波薄膜的清洗，能去除微米、亞微米級的污物而對清洗件沒有任何損傷，但造價不菲。從清洗效果及經(jīng)濟(jì)性考慮來看，頻率一般選擇在20—68KHz范圍，能基本滿足清洗的需要。

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